欢迎访问张家港海扬超声清洗设备有限公司官方网站!
在线咨询
微信号
张家港海扬超声清洗设备有限公司
Zhangjiagang Haiyang Ultrasonic Cleaning Equipment Co., Ltd.
服务热线:
13382532658
18915700230
网站首页
关于我们
新闻资讯
产品展示
成功案例
光伏硅业
在线留言
联系我们
产品列表
单槽超声波清洗机
旋转喷淋式清洗机
全自动硅料(碎、块)清洗设备
HW-05Z PRE-CV全自动清洗机
HW120-08蓝玻璃超声波清洗机
推杆输送清洗机
精密五金行业超声波清洗机
多臂输送清洗机
喷丝板超声波清洗机
链式悬挂输送清洗机
单臂式全自动超声波清洗机
汽车零部件行业超声波清洗机
洗筐(盘)机
电子行业
多功能气相清洗机
太阳能光伏
轴承行业
履带输送
单臂输送
闭环输送
转篮输送
溶剂类输送
钢板清洗机
光导
铝管清洗机
抬起步进输送
机器人柔性输送
联系我们
CONTACT
张家港海扬超声清洗设备有限公司
联系人:顾先生
手 机:13382532658,18915700230
电 话:0512-56770530
传 真:0512-56770531
地 址:张家港市经济开发区南庄村
新闻资讯
硅片超声波清洗技术
作者: 来源: 日期:2020-05-23 16:00:38 人气:964
在半导体材料的制备过程中,每一道工序都涉及到清洗,而且清洗的好坏直接影响下一道工序,甚至影响器件的成品率和可靠性。由于ULSI集成度的迅速提高和器件尺寸的减小,对于晶片表面沾污的要求更加严格,ULSI工艺要求在提供的衬底片上吸附物不多于500个/m2×0.12um,金属污染小于 1010atom/cm2。晶片生产中每一道工序存在的潜在污染,都可导致缺陷的产生和器件的失效。因此,硅片的清洗引起了专业人士的重视。以前很多厂家都用手洗的方法,这种方法人为的因素较多,一方面容易产生碎片,经济效益下降,另一方面手洗的硅片表面洁净度差,污染严重,使下道工序化抛腐蚀过程中的合格率较低。所以,硅片的清洗技术引起了人们的重视,找到一种简单有效的清洗方法是当务之急。本文介绍了一种超声波清洗技术,其清洗硅片的效果显著,是一种值得推广的硅片清洗技术。
硅片表面污染的原因
晶片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏而成为悬空键,形成表面附近的自由力场,尤其磨片是在铸铁磨盘上进行,所以铁离子的污染就更加严重。同时,由于磨料中的金刚砂粒径较大,造成磨片后的硅片破损层较大,悬挂键数目增多,极易吸附各种杂质,如颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。硅片清洗的目的就是要除去各类污染物,清洗的洁净程度直接决定着ULSI向更高集成度、可靠性、成品率发展,这涉及到高净化的环境、水、化学试剂和相应的设备及配套工艺,难度越来越大,可见半导体行业中清洗工艺的重要性。
上一个:
全自动超声波清洗机如何使用
下一个:
没有资料